样品
成果详情
| 项目简介 | |||||
|---|---|---|---|---|---|
| 技术简介： | |||||
| 专利类型： | 实用新型 | 专利申请号： | CN202122501290.6 | 公开号： | CN216192671U |
| 专利权人： | 广州竞赢科学仪器有限公司;南方医科大学;深圳美恩美科技有限公司 | 发明设计人: | 陈秋平;岳霞;胡孙林;谭晓辉;莫玉叶;杜思昊;梁剑航;卢雯惠 | ||
| 所属领域： | |||||
| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜设备用可旋转倾斜样品台，不锈钢壳体内设置有样品台、旋转轴和电机，用于装载样品的样品台设置在旋转轴的上端，旋转轴的下端与电机的转轴相连接；不锈钢壳体的外侧壁上还设置有倾斜转轴，倾斜转轴的一端伸入不锈钢壳体内部，电机安装在不锈钢壳体内部的倾斜转轴上；由于将装载样品的样品台设置在可倾斜的旋转轴上，利用其与溅射头形成一定角度的倾斜，再配合旋转轴自身的旋转，使得凹凸不平的非导电样品上的任何地方都可以镀上一层均匀的导电膜，且膜层厚度一致，克服了现有的真空镀膜设备及其配套装置仍然的局限性，不仅适合真空镀膜上表面平整的非导电样品，而且更加适合真空镀膜上表面凹凸不平的非导电样品。 | ||||
| 补充信息 | |||||
| 转让方式： | 成熟度： | 预估价值： | |||
| 市场前景： | |||||